根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對(duì)山東大學(xué)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)進(jìn)行其他招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

項(xiàng)目名稱：山東大學(xué)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

項(xiàng)目編號(hào)：SDJXHD20230357-Z197

項(xiàng)目聯(lián)系方式：

項(xiàng)目聯(lián)系人：田老師

項(xiàng)目聯(lián)系電話：0531-88366151

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：山東大學(xué)

采購單位地址：山東省濟(jì)南市山大南路27號(hào)

采購單位聯(lián)系方式：魯老師 0531-88363689

一、采購項(xiàng)目內(nèi)容

擬購買的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)適用于在低溫下在晶圓上沉積鈍化層同時(shí)實(shí)現(xiàn)無損傷的沉積。該設(shè)備能夠制備高致密度的保護(hù)膜作為半導(dǎo)體器件表面保護(hù)層，可實(shí)現(xiàn)對(duì)功率芯片與外界環(huán)境的隔絕，包含氧氣、水蒸氣等，是實(shí)現(xiàn)高可靠性功率芯片的重要因素，是銜接芯片制備和下游封裝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

經(jīng)用戶調(diào)研，擬購買SPTS公司的設(shè)備能夠在200℃以下沉積SiO2薄膜，同時(shí)通過沉積階段引入H2和沉積后H2等離子體處理，分別能夠提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸氣在SiO2表面的吸附，對(duì)降低漏電流、提高擊穿電壓具有顯著作用，實(shí)現(xiàn)107V·cm-1的耐壓指標(biāo)，調(diào)研的其他企業(yè)都難以實(shí)現(xiàn)上述指標(biāo)。另一方面，擬購設(shè)備具有獨(dú)特的托盤溫控設(shè)計(jì)，為了實(shí)現(xiàn)較低溫度下托盤的溫度均一性，用熱空氣代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電阻絲加熱方式，避免溫度過沖的風(fēng)險(xiǎn)，以實(shí)現(xiàn)高指標(biāo)大面積介質(zhì)層薄膜的沉積。SPTS Technology Ltd.公司在國內(nèi)的指定合作供應(yīng)商為蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易有限公司。因此采用單一來源方式采購。

擬定唯一供應(yīng)商名稱：蘇美達(dá)國際技術(shù)貿(mào)易有限公司

二、開標(biāo)時(shí)間：2024年02月02日 14:30

三、其它補(bǔ)充事宜

獲取采購文件：登錄山東大學(xué)采購網(wǎng)（http://www.cgw.sdu.edu.cn/）進(jìn)行供應(yīng)商注冊(cè)，注冊(cè)完成我中心審核通過后，再次登錄系統(tǒng)在線提交獲取采購文件申請(qǐng)，審核成功后自助下載采購文件。

投標(biāo)流程：

本項(xiàng)目采用電子招投標(biāo)方式采購。投標(biāo)供應(yīng)商必須按相關(guān)程序辦理數(shù)字證書和安裝投標(biāo)文件工具后方可上傳遞交投標(biāo)響應(yīng)文件。詳細(xì)操作說明見山東大學(xué)采購網(wǎng)（www.cgw.sdu.edu.cn）--資料下載--山東大學(xué)電子投標(biāo)指南文件。

發(fā)布公告媒介：本次采購公告在中國政府采購網(wǎng)和山東大學(xué)采購網(wǎng)上發(fā)布。

公告時(shí)間：自本公告發(fā)布之日起五個(gè)工作日。

四、預(yù)算金額：

預(yù)算金額：990.000000 萬元（人民幣）