遼寧材料實(shí)驗(yàn)室矩陣光譜橢偏儀采購(gòu)項(xiàng)目采購(gòu)項(xiàng)目的潛在供應(yīng)商應(yīng)在線上獲取采購(gòu)文件,并于2024年03月04日 13時(shí)30分(北京時(shí)間)前提交響應(yīng)文件。
1、采購(gòu)標(biāo)的需實(shí)現(xiàn)的功能或者目標(biāo)
穆勒矩陣橢偏儀可通過穆勒矩陣、橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量,實(shí)現(xiàn)各種光學(xué)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的幾何形貌參數(shù)和光學(xué)特性參數(shù)的表征分析,特別適用于各向異性薄膜材料的測(cè)量表征、材料新特性和新物理現(xiàn)象的描述分析。
軟件具有多類薄膜和納米結(jié)構(gòu)建模功能,可實(shí)現(xiàn)周期性納米光柵建模仿真測(cè)試,具備常見材料光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)、常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數(shù)、折射率梯度分布、等效介質(zhì)模型,支持圖形化多振子混合模型擬合功能,支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù)。
2、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范
GB/T 31225-2014 橢圓偏振儀測(cè)量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法
JJF 1932-2021 橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范
實(shí)用新型專利: 一種光譜橢偏裝置【L202223363532.0】
發(fā)明專利:一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器穆勒矩陣橢偏儀系統(tǒng)控制【ZL201911369716.8】
發(fā)明專利: 一種基于橢偏儀待測(cè)樣件參數(shù)測(cè)量方法【ZL202011233872.4】
3、需滿足的質(zhì)量、安全、技術(shù)規(guī)格、物理特性
質(zhì)量把控: 供應(yīng)商應(yīng)嚴(yán)格按照行業(yè)SOP標(biāo)準(zhǔn),對(duì)原材料進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量管控,嚴(yán)格執(zhí)行設(shè)備出廠流程,做好設(shè)備性能指標(biāo)以及運(yùn)行可靠性的保障。
安全注意事項(xiàng):1)儀器出現(xiàn)異常時(shí),請(qǐng)根據(jù)計(jì)算機(jī)上的錯(cuò)誤顯示窗口中顯示的錯(cuò)誤信息,嘗試將儀器恢復(fù)到正常工作狀態(tài)。如果儀器無法恢復(fù)正常,請(qǐng)與本公司客服聯(lián)系; 2) 在儀器出現(xiàn)異味、異樣的聲音、冒煙等異常情況時(shí),請(qǐng)迅速切斷電源,使儀器停止運(yùn)行;3) 在長(zhǎng)期不使用儀器的情況下,請(qǐng)切斷儀器總電源。此外,在長(zhǎng)期停止工作后再次啟動(dòng)儀器時(shí),請(qǐng)?jiān)诶袡z查之后,再接通儀器的電源。
技術(shù)規(guī)格:
物理特性:供電電源電壓:220V AC;正常頻率范圍:49~51Hz;相電流:有效值小于 4A(220V AC);功率:小于880 W。
4、采購(gòu)數(shù)量、時(shí)間、地點(diǎn)
1臺(tái);2024年6月;遼寧材料實(shí)驗(yàn)室
5、需滿足的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)、期限、效率等要求
設(shè)備質(zhì)量保證期為驗(yàn)收之日起12個(gè)月,在接到用戶故障信息后要求4小時(shí)內(nèi)響應(yīng),1個(gè)工作日排除故障,48小時(shí)內(nèi)安排工程師上門;保修期內(nèi),供貨方向采購(gòu)方免費(fèi)提供及時(shí)的維修服務(wù)和維修所必須的零配件;設(shè)備保修期過后,要求能終身提供廣泛優(yōu)惠的技術(shù)支持。
6、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
按照設(shè)備技術(shù)協(xié)議規(guī)定的性能參數(shù)驗(yàn)收:
1. ▲偏振測(cè)量參數(shù):Psi:0-90°,Delta:-90-270°,16組Muller Matrix
2. 光譜范圍:380-1000nm
3. 調(diào)制技術(shù):雙旋補(bǔ)償器PCr1SCr2A調(diào)制技術(shù)
4. 測(cè)量時(shí)間:<15秒,全流程時(shí)間
5. ▲微光斑尺寸:200μm(短軸),配置雙安全自動(dòng)識(shí)別傳感器
6. 測(cè)量角度:45-90°,自動(dòng)變角
7. 找焦功能:0-20mm,自動(dòng)找焦
8. 可視化調(diào)平系統(tǒng):支持樣件臺(tái)可視化輔助對(duì)準(zhǔn)調(diào)平
9. ★膜厚重復(fù)精度:優(yōu)于0.005nm(100nm SiO2/Si,30repeats,1σ)
10. ★折射率重復(fù)精度:優(yōu)于0.0002(n @632.8nm,100nm SiO2/Si,30repeats,1σ)
11. ★絕對(duì)精度:穆勒矩陣非對(duì)角元素優(yōu)于m=0±0.005(測(cè)量空氣, 90%滿足)
12. ★退偏精度優(yōu)于:±0.5%(測(cè)量裸硅,全波段90%滿足)
13. ▲退偏態(tài)修正:修正半峰寬Bandwidth,厚度不均勻Non-uniformity及非零級(jí)光散射Angular等退偏態(tài)
14. 樣品臺(tái):具備X/Y/Z/Rz、俯仰五維可調(diào),支持Ф200mm樣件真空吸附固定測(cè)量
15. ▲數(shù)據(jù)建模:多種數(shù)據(jù)擬合度(MSE/GOF/nGOF)評(píng)價(jià)方式;軟件同界面數(shù)據(jù)文件夾結(jié)構(gòu)化批量管理,一次調(diào)用海量數(shù)據(jù)數(shù)秒內(nèi)批量處理并導(dǎo)出分析報(bào)告
16. ▲光柵測(cè)量:測(cè)量一維/二維周期納米光柵得到結(jié)構(gòu)尺寸值信息,包含光柵頂寬TopCD、底寬BottomCD、傾斜角Offset、套刻誤差Overlay、頂弧Topfillet、底弧Bottomfillet等信息;
17. 分析軟件:Recipe測(cè)量模式(Repice編輯保存及一鍵調(diào)用),多達(dá)數(shù)百種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù),用戶自定義光學(xué)材料庫(kù);具備折射率梯度分布Grade建模,光學(xué)各向異性建模仿真與分析功能,至少5個(gè)授權(quán)軟件許可
18. 分析電腦:CPU: ≥雙核處理器,RAM: ≥8G,ROM: ≥1024G,顯示器: ≥19寸,windows系統(tǒng)
7、其他技術(shù)、服務(wù)等要求
7.1、技術(shù)資料
供應(yīng)商保證提供完整的技術(shù)資料,包括設(shè)備使用手冊(cè)、數(shù)據(jù)分析手冊(cè)、出廠報(bào)告、產(chǎn)品合格證等資料,符合合同約定并且能夠滿足設(shè)備的安裝、調(diào)試、驗(yàn)收、操作以及維修和保養(yǎng)的需要。
2、設(shè)備安裝、調(diào)試和驗(yàn)收
2.1當(dāng)貨物到達(dá)采購(gòu)人指定的交貨地點(diǎn)后,采購(gòu)人及成交供應(yīng)商依據(jù)設(shè)備供貨清單共同對(duì)設(shè)備進(jìn)行開箱驗(yàn)收,并對(duì)設(shè)備的數(shù)量、型號(hào)、外觀等進(jìn)行逐項(xiàng)檢查。如采購(gòu)人發(fā)現(xiàn)所提供設(shè)備不符合合同要求時(shí),或有損壞,采購(gòu)人有權(quán)向供應(yīng)商提出退換和索賠;
2.2 如設(shè)備安裝有特殊要求,供應(yīng)商應(yīng)在合同簽訂后一周內(nèi)以書面形式向采購(gòu)人提出安裝場(chǎng)地要求,并對(duì)采購(gòu)人就安裝場(chǎng)地的咨詢提供技術(shù)支持;
2.3 在設(shè)備到達(dá)采購(gòu)人場(chǎng)地后,供應(yīng)商應(yīng)盡快組織完成整套設(shè)備的安裝、調(diào)試;安裝、調(diào)試完畢并通過采購(gòu)人最終驗(yàn)收后,供應(yīng)商可向采購(gòu)人提出驗(yàn)收申請(qǐng),由采購(gòu)人組織有關(guān)人員進(jìn)行驗(yàn)收。
2.4 采購(gòu)人及成交供應(yīng)商簽署驗(yàn)收文件,根據(jù)驗(yàn)收文件對(duì)設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)收。
3、技術(shù)培訓(xùn)
3.1 在采購(gòu)人所在地由供應(yīng)商專業(yè)工程師免費(fèi)對(duì)采購(gòu)人進(jìn)行軟硬件操作技術(shù)培訓(xùn),內(nèi)容包括設(shè)備的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理和基本維護(hù)等,直至采購(gòu)人能獨(dú)立操作為止。
3.2 采購(gòu)人獨(dú)立使用后三個(gè)月,按采購(gòu)人要求由工程師進(jìn)行集中問題解答;采購(gòu)人獨(dú)立使用后半年至一年,由應(yīng)用專家進(jìn)行深入培訓(xùn)和優(yōu)化操作。
3.3 培訓(xùn)費(fèi)用:所發(fā)生的培訓(xùn)費(fèi)用由供應(yīng)商承擔(dān)。