為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息， 根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》 （財庫〔〕號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將山東大學(xué)年（第九十九批）月政府采購意向公開政府采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 意向編號 采購品目 采購需求概況 預(yù)算金額(萬元) 預(yù)計采購日期 備注 干法刻蝕設(shè)備 電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備 采購干法刻蝕設(shè)備套，能完成英寸碳化硅晶圓刻蝕工藝，設(shè)備采用獨立刻蝕腔室，單片式運行及搬運功能，全自動機臺，雙射頻匹配調(diào)控，配備路氣體，最小刻蝕線寬為.μ。 年月 物理氣相沉積設(shè)備 電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備 采購物理氣相沉積設(shè)備臺，應(yīng)用于、、、四種金屬的沉積，需各個金屬配備獨立腔室以及單獨的預(yù)處理腔室，四種金屬薄膜在英寸晶圓上的片內(nèi)均一性能夠達(dá)到%，滿足碳化硅功率器件制備的金屬鍍膜需求。 年月 等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備 采購等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)臺，應(yīng)用于沉積和薄膜，適用于英寸晶圓，片內(nèi)均一性和片間均一性&;%,工藝溫度到攝氏度。 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。 山東大學(xué)招標(biāo)采購管理中心 年月日
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