項(xiàng)目概況 東南大學(xué)微納平臺(tái)-集成刻蝕系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在交易平臺(tái)網(wǎng)址為:://..獲取招標(biāo)文件,并于年月日 點(diǎn)分(北京時(shí)間)前遞交投標(biāo)文件。
一、項(xiàng)目基本情況
項(xiàng)目編號(hào):
項(xiàng)目名稱:東南大學(xué)微納平臺(tái)-集成刻蝕系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目
預(yù)算金額:. 萬(wàn)元(人民幣)
最高限價(jià)(如有):. 萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)需求:
項(xiàng)目地點(diǎn):東南大學(xué)無(wú)錫校區(qū)
項(xiàng)目概況:微納平臺(tái)采購(gòu)-集成刻蝕系統(tǒng)套,主要技術(shù)要求如下:
(一)工藝腔室配置
. 反應(yīng)腔室獨(dú)立模塊化設(shè)計(jì),方便維護(hù)與保養(yǎng)
. 作業(yè)溫度范圍可覆蓋-~ ℃,溫度控制±. ℃,可實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕工藝,可實(shí)現(xiàn)、等多種半導(dǎo)體材料可控原子層刻蝕工藝
. 傳送模塊配備高精度晶圓位置傳感器,可兼容/寸晶圓
(二)供氣與真空系統(tǒng)
. 配備高速響應(yīng),響應(yīng)速度&; ,實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制短脈沖式刻蝕工藝中的工藝氣體通入流量與時(shí)長(zhǎng)
. 機(jī)械泵抽速不小于 /,配備分子泵,腔室極限壓力小于×-,真空漏率小于 /
. 配備高精度壓力傳感器,可實(shí)時(shí)檢測(cè)腔室壓力,檢測(cè)范圍覆蓋~
(三)射頻等離子體系統(tǒng)
配置高功率脈沖射頻電源,頻率可調(diào);最大功率不低于,最小功率不高于 ,調(diào)節(jié)分辨率優(yōu)于. ;配備偏壓射頻源,最大功率不小于,最小功率不高于 ,調(diào)節(jié)分辨率優(yōu)于. 。
不接受進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo),技術(shù)參數(shù)詳見(jiàn)招標(biāo)文件。
行業(yè)劃分:工業(yè)
本項(xiàng)目(非專門)面向中小企業(yè)采購(gòu)。
本項(xiàng)目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)來(lái)購(gòu)。
本項(xiàng)目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購(gòu)。
合同履行期限:合同簽訂后天內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。
本項(xiàng)目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。
二、申請(qǐng)人的資格要求:
.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定;
.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求:
.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定;
()具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力....
快捷閱讀