項(xiàng)目概況 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機(jī)采購項(xiàng)目 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在..；北京市海淀區(qū)丹棱街號互聯(lián)網(wǎng)金融中心層獲取招標(biāo)文件，并于年月日 點(diǎn)分（北京時(shí)間）前遞交投標(biāo)文件。 一、項(xiàng)目基本情況 項(xiàng)目編號：- 項(xiàng)目名稱：中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所投影式光刻機(jī)采購項(xiàng)目 預(yù)算金額：. 萬元（人民幣） 最高限價(jià)（如有）：. 萬元（人民幣） 采購需求： 包號 貨物名稱 數(shù)量 （套） 簡要要求 是否允許采購進(jìn)口產(chǎn)品 最高限價(jià) 投影式光刻機(jī) 該機(jī)用于集成電路生產(chǎn)中的微光刻工藝。是用來將掩膜版上形成的集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復(fù)投影成像在晶圓表面上。該機(jī)具備（聯(lián)機(jī)）自動(dòng)涂膠顯影單元功能和配置。 該機(jī)含有涂膠顯影單元、晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)、版庫自動(dòng)管理系統(tǒng)、可編程掩膜版光欄、自動(dòng)調(diào)焦調(diào)平、晶圓自動(dòng)對準(zhǔn)、掩膜版自動(dòng)對準(zhǔn)、鏡頭倍率控制、自動(dòng)光量控制、圖形自動(dòng)優(yōu)化設(shè)計(jì)計(jì)算、故障顯示報(bào)警等先進(jìn)功能。 將曝光掩膜版和晶圓分別裝入掩膜版庫和晶圓傳輸單元后，掃描式光刻機(jī)將按照操作軟件設(shè)定的數(shù)據(jù)格式、工作時(shí)序自動(dòng)完成包括掩膜版、晶圓的交換、自動(dòng)對準(zhǔn)、自動(dòng)調(diào)焦、自動(dòng)分步曝光在內(nèi)的工作過程。 是 萬元 合同履行期限：合同簽訂后個(gè)月內(nèi) 本項(xiàng)目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求： 本項(xiàng)目不屬于專門面向中小微企業(yè)、監(jiān)獄企業(yè)、殘疾人福利性單位采購的項(xiàng)目 .本項(xiàng)目的特定資格要求：） 投標(biāo)人須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條的規(guī)定；（具體為供應(yīng)商參加政府采購活動(dòng)應(yīng)當(dāng)具備下列條件：（一）具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；（二）具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；....