大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 項目所在采購意向： 上海交通大學年月政府采購意向 采購單位： 上海交通大學 采購項目名稱： 大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 金屬表面處理設備 采購需求概況 ： 大面積表面高能涂層及掃描系統(tǒng) 主要技術指標： . 均勻有效涂層空間：直徑，高度； . 配置口徑磁懸浮渦輪分子泵套，抽速不小于/; . 配置彎管磁過濾陰極電弧套，靶材直徑； . 配置射頻英寸圓形磁控濺射靶套，功率， .； . 配置高功率脈沖英寸圓形磁控濺射靶套，功率，峰值電流； . 配置直流英寸磁控濺射靶套，功率； . 配置陽極層離子源套，功率； . 加熱溫度最高可達℃； 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。