二維半導(dǎo)體設(shè)備 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 二維半導(dǎo)體設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購八英寸晶圓級二維材料金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備臺，具備絕緣襯底上（藍(lán)寶石、二氧化硅）生長 英寸晶圓級二維半導(dǎo)體材料（主要是過渡金屬硫化物）及其異質(zhì)結(jié)的工藝能力，且尺寸可向下兼容；生長出的材料均勻度 &;%, 缺陷密度 &;* -，單一晶疇取向，可重復(fù)性高；設(shè)備配備兩個腔室淋浴噴頭，無腔室前預(yù)反應(yīng)；具備多溫區(qū)加熱和旋轉(zhuǎn)，加熱范圍 - 攝氏度。目前先導(dǎo)中心沒有這類設(shè)備，無法滿足項目的研制需求，故需要專門配置購置。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。