化學(xué)機械平面拋光 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所 采購項目名稱： 化學(xué)機械平面拋光 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： 半導(dǎo)體材料生長薄膜具有一定的不均勻性，特別是晶圓刻蝕后，光波導(dǎo)上包層生長沉積工藝中，晶圓上存在高低起伏的形貌，無法對晶圓進行多層薄膜的生長加工。為實現(xiàn)大規(guī)模的三維光子芯片加工，或在晶圓上鍍金形成電極實現(xiàn)光芯片的電子調(diào)控，就必須對晶圓的表面進行平坦化處理。實現(xiàn)該工藝的核心設(shè)備是化學(xué)機械拋光設(shè)備，因此，為完善平臺工藝，新增化學(xué)機械拋光設(shè)備是完全必要的。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。