光刻鍵合系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 重慶大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 重慶大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 光刻鍵合系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 未來芯片研究與試驗(yàn)測(cè)試平臺(tái)采購(gòu)光刻鍵合系統(tǒng)套。該系統(tǒng)包括雙面光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、活化系統(tǒng)和兆聲清洗機(jī)。雙面光刻機(jī)主要用于器件的雙面光刻操作及在鍵合前對(duì)晶圓進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。晶圓鍵合機(jī)利用晶圓鍵合技術(shù)，通過化學(xué)和物理作用將兩塊已鏡面拋光的同質(zhì)或異質(zhì)的晶片緊密地結(jié)合起來，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅硅鍵合、金金擴(kuò)散鍵合、金硅共晶鍵合、陽極鍵合等工藝。活化系統(tǒng)采用等離子體來達(dá)到表面處理的作用，主要用于對(duì)擬鍵合的晶圓進(jìn)行清潔。兆聲清洗機(jī)利用超聲波的高頻振動(dòng)，在液體中產(chǎn)生劇烈的渦流和微小氣泡，主要用于去除晶圓表面納/微米級(jí)顆粒，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面的徹底清潔。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。