金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（舊） 項(xiàng)目所在采購意向： 年至月政府采購意向 采購單位： 采購項(xiàng)目名稱： 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備（舊） 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空獲得設(shè)備 采購需求概況 ： 數(shù)量臺(tái)，主要技術(shù)要求如下： 、生長基材料； 、設(shè)備配套有傳送腔，反應(yīng)腔，真空泵，氣體輸運(yùn)管道，水冷、升溫及溫度控制、反應(yīng)實(shí)時(shí)監(jiān)控等； 、反應(yīng)腔有個(gè)，可通過機(jī)械手內(nèi)部傳片。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。