離子束刻蝕系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 華南理工大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 華南理工大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 離子束刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 離子束刻蝕系統(tǒng)主要用于芯片制造過(guò)程中的各種材料，特別是金屬材料等的刻蝕。需要滿足寸及以下晶圓和小片刻蝕；配備采用 離子源，刻蝕均勻性?xún)?yōu)于 %；載片臺(tái)具備背 氣體冷卻裝置，自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速可調(diào)；包含進(jìn)樣室；具備終點(diǎn)檢測(cè)功能。設(shè)備穩(wěn)定性和可重復(fù)性好，刻蝕速率可精確調(diào)控。設(shè)備維護(hù)簡(jiǎn)單，保修期不低于年。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 歡迎供應(yīng)商提供相關(guān)產(chǎn)品或服務(wù)信息，產(chǎn)品資料可發(fā)送至采購(gòu)人郵箱：@..，郵件標(biāo)題：“*****采購(gòu)意向推薦產(chǎn)品”,聯(lián)系電話：-。 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。