深圳大學(xué)激光直寫光刻機(jī)意向公開 采購(gòu)單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 激光直寫光刻機(jī) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 激光儀器 采購(gòu)需求概況: 激光直寫光刻機(jī)需具備 和 兩種激光光源，最小曝光結(jié)構(gòu)尺寸需達(dá)到，同時(shí)配備不少于三種曝光分辨率書寫模式如、以及用于快速完成不同細(xì)節(jié)要求的結(jié)構(gòu)；為滿足多層結(jié)構(gòu)加工需求，正面套刻需要保證對(duì)位精度，套刻精度不大于；此外灰度曝光能力不低于階，實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制灰度曝光精度；可加工的尺寸應(yīng)滿足八寸片且向下兼容；售后需提供年維保。 聯(lián)系人: 劉老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 備注: 無(wú) 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)