高功率非晶態(tài)材料沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 南京理工大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 南京理工大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 高功率非晶態(tài)材料沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況 ： 設(shè)備主要參數(shù)要求：主要技術(shù)指標(biāo)：極限真空度≤- ；分子泵抽氣速率≥ /；真空漏率≤- ？/；靶材尺寸和數(shù)量：英寸、只；濺射功率：直流電源數(shù)量臺、功率≥，射頻電源數(shù)量臺、功率≥，要求搭載負(fù)偏壓；樣品臺可加熱溫度：-℃，控溫精度≤ 度，可在-轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)；控制精度：薄膜均勻性優(yōu)于±%；系統(tǒng)需配有薄膜厚度實(shí)時(shí)監(jiān)測儀和三路流量控制計(jì)，可通氬、氧、氮三路氣體。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。