物理氣相沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 北京大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 北京大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 物理氣相沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 設(shè)備主要用于氧化釩和氧化物半導(dǎo)體的磁控濺射鍍膜，用于制備非制冷紅外傳感器、熱耦合晶體管、鐵電場效應(yīng)晶體管等半導(dǎo)體器件。需要設(shè)備有兩個(gè)濺射腔體，用于氧化釩鍍膜的腔體可進(jìn)行不小于寸硅片的濺射鍍膜，用于氧化物半導(dǎo)體鍍膜的腔體可進(jìn)行不小于寸硅片的濺射鍍膜，每個(gè)腔體不少于兩個(gè)靶和兩套射頻電源，同時(shí)配有快速進(jìn)樣腔，設(shè)備本底真空不大于-，鍍膜均勻性好于%。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。