為便于供應商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔〕號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 采購需求概況 預算金額(萬元) 預計采購時間 備注 直寫光刻設備采購項目 采購內(nèi)容:光刻設備平臺系統(tǒng)；光學系統(tǒng)；微納結(jié)構(gòu)軟件生成庫（包括全息庫、面型補償功能）；主要功能或目標:最高灰度階數(shù)達階,為目前全球報道的最高階數(shù)。 平臺系統(tǒng)：最大行程=，=；定位精度分辨率（精密光柵尺）；重復定位精度；樣品固定方式：真空吸附，不同尺寸的卡盤進行樣品定位；最大掃描速度/；運動直線度：&; μ ；樣品尺寸最大×，向下兼容；支持襯底厚度 ~，采用電機自動驅(qū)動軸高度。 光學系統(tǒng)： ，功率 ，壽命＞ 小時； 波長紅外自動光學聚焦系統(tǒng)；最小分辨率 ，支持 、 的光學分辨率的自動切換，無需手動更換。 系統(tǒng)自帶面型補償功能（），面型一致性高。 ；需滿足的要求:項目建設后，建成并投入使用主要應用于掩膜板，芯片、微機電系統(tǒng)、傳感器、折射及衍射光學系統(tǒng)、微光機電，超材料以及新穎材料等領(lǐng)域，是微納圖形制備的最有效，最直接的加工方式。適用于各類衍射光學元件、全息元件的批量化制備。與實驗室現(xiàn)有的薄膜沉積、等離子體刻蝕設備可以構(gòu)建一套完整的微納光學元件制造體系。項目支持的學科：光學工程、儀器科學與技術(shù)。項目支持的專業(yè)：測控技術(shù)與儀器、光電信息科學與工程兩個國一流專業(yè)，電子科學與技術(shù)一個省一流專業(yè)。。 . 年月 無 低壓等離子體化學氣相沉積采購項目 采購內(nèi)容:低壓等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)；主要功能或目標:單腔反應爐單腔反應爐；最大晶圓尺寸英寸（）；最大加工數(shù)量片；反應方式：熱反應（℃）；可加工工藝：, , , , , ....