為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財(cái)庫〔〕號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號(hào) 采購項(xiàng)目名稱 采購需求概況 預(yù)算金額(萬元) 預(yù)計(jì)采購時(shí)間 備注 西安工業(yè)大學(xué)高精度光學(xué)表面改性設(shè)備 采購內(nèi)容:高精度光學(xué)表面改性設(shè)備；主要功能或目標(biāo):、真空反應(yīng)腔：①真空反應(yīng)腔配置內(nèi)襯套、減少反應(yīng)腔內(nèi)表面沉積；②內(nèi)壁加熱溫度可到℃或以上；③載物臺(tái)：直徑≥，兼容英寸及以下的晶圓片和碎片樣片；④加熱溫度可到℃或以上，配置溫度傳感器，精度±℃；⑤反應(yīng)腔的本底真空≤ - ；真空漏率≤ - ?/。 、真空系統(tǒng)：①預(yù)真空室配置單獨(dú)的干泵、真空計(jì),預(yù)真空室本底真空≤ - ；真空漏率≤ - ?/；②真空系統(tǒng)配置工藝用抽速≥ /的防腐蝕設(shè)計(jì)干泵，配置抽速≥ /的防腐蝕設(shè)計(jì)渦輪分子泵，本底真空≤ .- ； 、前驅(qū)體源系統(tǒng)：①配置至少路獨(dú)立的液體/固體前體源管路；每路前驅(qū)體源管路配置獨(dú)立的閥門；路前驅(qū)體源管路種類至少為：路帶管路加熱的直抽管路；路帶管路加熱、前驅(qū)體罐加熱（最高可到℃或以上）、并帶有起泡器的起泡器管路；②可使用的前驅(qū)體源種類至少包括：, , ，以及銦源、鎵源、鋅源、鎳源等；③配置至少路惰性氣體的載氣管路，配置至少路獨(dú)立的氣體源（例如： 、、）管路，每路氣體源管路需配有質(zhì)量流量計(jì)（）、顆粒過濾器和氣體截止閥；對(duì)有毒/腐蝕氣體管路（例如）需配有旁路。 、前驅(qū)體源系統(tǒng)：①配置真遠(yuǎn)程等離子體方式或電感耦合等離子源；②等離子體源的射頻功率≥ ，頻率. ；③配有自動(dòng)匹配盒，可通過固定匹配模式或自動(dòng)匹配模式穩(wěn)定地起輝；④配置計(jì)算機(jī)控制的等離子體源關(guān)閉閥（等離子體快門） 、原位實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)：①采用激光橢偏儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜生長(zhǎng)過程，可進(jìn)行膜厚的在線測(cè)量，還可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)到原子層沉積工藝每一個(gè)循環(huán)的每一個(gè)步驟；②該裝置軟件與沉積系統(tǒng)操作軟件相兼容....