哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）晶圓濃度測試儀意向公開 采購單位: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳） 項(xiàng)目名稱: 晶圓濃度測試儀 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 物理特性分析儀器及校準(zhǔn)儀器 采購需求概況: 用于測量晶圓或外延層的摻雜濃度和均勻性。測量方式：接觸式無損；測試范圍：~ /；測試點(diǎn)位接觸重復(fù)性：≤.%（面積）；施加偏壓范圍不低于 /-。 聯(lián)系人: 簡老師 聯(lián)系電話: - 預(yù)計采購時間: - 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)