半導(dǎo)體介質(zhì)垂直濺射系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 復(fù)旦大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 復(fù)旦大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 半導(dǎo)體介質(zhì)垂直濺射系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 需要直射的特定工藝設(shè)備，極限真空度：≤-，可實(shí)時控制和顯示部件和鍍等狀態(tài)，樣品尺寸，樣品可以通過輻射方式加熱，最高加熱溫度℃，且能夠滿足絕大部分鍍膜的需要。簽訂合同后個月內(nèi)交付，質(zhì)保期自驗(yàn)收合格日起年。 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。