深圳技術(shù)大學(xué)教學(xué)線器件圖形化結(jié)構(gòu)制作設(shè)備意向公開 采購(gòu)單位: 深圳技術(shù)大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 教學(xué)線器件圖形化結(jié)構(gòu)制作設(shè)備 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 其他儀器儀表 采購(gòu)需求概況: 、 接觸式雙面光刻機(jī). 曝光面積：英寸；. 光源：紫外，曝光波長(zhǎng)：：-/；. 分辨率：；對(duì)準(zhǔn)精度：±.（雙面，片厚.）±.（單面）、潔凈烘箱. 容 積（）：雙腔體；. 溫度： ～ ℃多段程序控制。、勻膠烘膠一體機(jī). 集成勻膠機(jī)及可編程熱板一體化設(shè)備； . 勻膠機(jī)樣品尺寸支持英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片。含碎片、英寸、英寸、英寸、碎片托盤各一個(gè)；. 轉(zhuǎn)速范圍：-，轉(zhuǎn)速精度及重復(fù)性：±；單步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間設(shè)置范圍：-，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率：；. 熱板可編程，樣品尺寸：為英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片；控制溫度：室溫-℃。、顯影烘膠一體機(jī). 集成顯影機(jī)及可編程熱板一體化設(shè)備；. 顯影機(jī)樣品尺寸：支持英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片，含碎片、英寸、英寸、英寸鋁合金托盤各一個(gè)；. 轉(zhuǎn)速范圍：-，轉(zhuǎn)速精度及重復(fù)性：±；單步轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間設(shè)置范圍：-，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率：；. 自動(dòng)顯影：路顯影液供給管路，路供給，路；. 可編程熱板樣品尺寸：為英寸（）圓晶及以下尺寸或碎片；控制溫度：室溫-℃，溫度均勻性：±.℃@范圍。、有機(jī)清洗臺(tái). 超聲槽槽體材質(zhì)：內(nèi)槽：石英；外槽：；管件材質(zhì)：/；溶液溫度：-±℃；. 槽槽體材質(zhì)：聚丙烯（）；管件材質(zhì)：/；溶液溫度：； . 水洗槽槽體材質(zhì)：聚丙烯（）；管件材質(zhì)：/；溶液溫度：；、冷藏柜. 體積大于；. 溫控范圍-....