石英雙面精密光刻系統(tǒng)-招標公告
(招標編號:--)
招標項目所在地區(qū):北京市
一、招標條件
本石英雙面精密光刻系統(tǒng)(招標項目編號:--),已由項目審批/核準/備案機關(guān)批準,項目資金來源為詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容,招標人為北京遙測技術(shù)研究所。本項目已具備招標條件,現(xiàn)進行公開招標。
二、項目概況和招標范圍
項目規(guī)模:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 。
招標內(nèi)容與范圍:本招標項目劃分為標段 個標段,本次招標為其中的:
石英雙面精密光刻系統(tǒng)
三、投標人資格要求
石英雙面精密光刻系統(tǒng):
詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容
本項目不允許聯(lián)合體投標。
四、招標文件的獲取
獲取時間:年月日時分秒---年月日時分秒
獲取方法:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容
五、投標文件的遞交
遞交截止時間:年月日時分秒
遞交方法:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容
六、開標時間及地點
開標時間:年月日時分秒
開標地點及方式:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容
七、其他公告內(nèi)容
石英雙面精密光刻系統(tǒng)已具備招標條件。資金來源國撥。中船國際建設工程管理咨詢(北京)有限公司(招標代理機構(gòu))受北京遙測技術(shù)研究所(招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。
. 招標范圍
. 貨物名稱:石英雙面精密光刻系統(tǒng)
. 招標編號:--
.設備用途:石英雙面精密光刻系統(tǒng)是石英產(chǎn)品線的關(guān)鍵加工設備,配合光刻工藝可以將掩模圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面的光刻膠圖形上,特別是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等器件,可以在襯底正反面制作出有相應位置要求的光刻膠圖形,再經(jīng)歷其它工藝及反復光刻,從而形成具有特殊功能的器件。光刻系統(tǒng)根據(jù)曝光方式可分為接觸式、接近式....

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