石英雙面精密光刻系統(tǒng)-招標公告 (招標編號:--) 招標項目所在地區(qū):北京市 一、招標條件 本石英雙面精密光刻系統(tǒng)(招標項目編號:--),已由項目審批/核準/備案機關(guān)批準,項目資金來源為詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容,招標人為北京遙測技術(shù)研究所。本項目已具備招標條件,現(xiàn)進行公開招標。 二、項目概況和招標范圍 項目規(guī)模:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 。 招標內(nèi)容與范圍:本招標項目劃分為標段 個標段,本次招標為其中的: 石英雙面精密光刻系統(tǒng) 三、投標人資格要求 石英雙面精密光刻系統(tǒng): 詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 本項目不允許聯(lián)合體投標。 四、招標文件的獲取 獲取時間:年月日時分秒---年月日時分秒 獲取方法:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 五、投標文件的遞交 遞交截止時間:年月日時分秒 遞交方法:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 六、開標時間及地點 開標時間:年月日時分秒 開標地點及方式:詳見招標公告七、其他公告內(nèi)容 七、其他公告內(nèi)容 石英雙面精密光刻系統(tǒng)已具備招標條件。資金來源國撥。中船國際建設工程管理咨詢(北京)有限公司(招標代理機構(gòu))受北京遙測技術(shù)研究所(招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。 . 招標范圍 . 貨物名稱:石英雙面精密光刻系統(tǒng) . 招標編號:-- .設備用途:石英雙面精密光刻系統(tǒng)是石英產(chǎn)品線的關(guān)鍵加工設備,配合光刻工藝可以將掩模圖形轉(zhuǎn)移到襯底表面的光刻膠圖形上,特別是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等器件,可以在襯底正反面制作出有相應位置要求的光刻膠圖形,再經(jīng)歷其它工藝及反復光刻,從而形成具有特殊功能的器件。光刻系統(tǒng)根據(jù)曝光方式可分為接觸式、接近式....
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