存儲芯片晶圓級測試系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 存儲芯片晶圓級測試系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -半導(dǎo)體器件參數(shù)測量儀 采購需求概況 ： 采購標的名稱：存儲芯片晶圓級測試系統(tǒng) 主要功能： 搭配測試板卡直接對晶圓測試，準確測取晶圓數(shù)據(jù)，分析晶圓不同位置的器件性能，分析工藝參數(shù)對器件影響，反饋到光刻制程，建立器件可靠性與光刻參數(shù)工藝庫，目標提高測試和工藝優(yōu)化迭代效率。 采購標的數(shù)量：臺 質(zhì)量要求： 、可實現(xiàn)對新型存儲器芯片的性能測試； 、最多提供路數(shù)字通道資源，可進行最多并行同測； 、可與/連接，進行自動測試； 、最大支持路源，路，路單元和卡； 、支持最高工作頻率；測試通道頻率支持最高。 服務(wù)、安全、時限等要求： 提供設(shè)備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。