板材金屬化設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 板材金屬化設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -樣品前處理及制備儀器 采購需求概況 ： 在使用特種感光介質材料通過曝光顯影工藝實現(xiàn)超小節(jié)距盲孔，因感光介質材料無法通過化銅工藝沉積種子層，所以需要通過濺射實現(xiàn)板級介質表面的金屬化。急需利用此設備開展用于埋入式基板技術研究和工藝開發(fā)，支撐后摩爾時代的技術跨越 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。