高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購高密度等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備臺(tái)，面向高密度器件研發(fā)需要同時(shí)引入多層互連，沉積的薄膜可以滿足后段互連的絕緣層隔離要求 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。