真空一體化解理鍍膜裝置 項目所在采購意向： 中國科學院半導體研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院半導體研究所 采購項目名稱： 真空一體化解理鍍膜裝置 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 設備不僅可以實現(xiàn)真空下的激光芯片的解理，也可以進行金屬膜和介質膜的一體化鍍膜工藝，實現(xiàn)中長紅外波段的高反膜制備。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。