深圳大學電子束曝光機意向公開 采購單位: 深圳大學 項目名稱: 電子束曝光機 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 教學儀器 采購需求概況: 電子束曝光是由高能量電子束和光刻膠相互作用，使膠由長（短）鏈變成斷（長）鏈，實現(xiàn)曝光，相比于光刻機具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直寫和納米科學技術研究。 預計采購時間: - 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準