英寸晶圓快速退火爐 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 英寸晶圓快速退火爐 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱(chēng)：英寸晶圓快速退火爐。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：小尺寸 器件研制中需要對(duì)制備的器件進(jìn)行高溫快速退火處理以提升器件的電學(xué)性能。主要目標(biāo)： 溫度范圍-℃ ；配置兩句路氣體 （氮?dú)?氧氣）；支持真空及常壓模式；晶圓尺寸 。。采購(gòu)數(shù)量：臺(tái) 。采購(gòu)標(biāo)的所需質(zhì)量：退火過(guò)程中溫度設(shè)置值與實(shí)際值誤差在%以?xún)?nèi)。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。