電子束沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 采購項目名稱： 電子束沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 電子束蒸鍍系統(tǒng)可用于各類金屬和氧化物的沉積，是制造半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備，對于項目中各類實驗的開展具有至關(guān)重要的作用 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。