高深寬比橫向濕法刻蝕設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 高深寬比橫向濕法刻蝕設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：高深寬比橫向濕法刻蝕設備。采購數(shù)量為臺。采購標的主要功能：滿足英寸晶圓的槽式濕法刻蝕，槽數(shù)數(shù)量為個刻蝕槽，個清洗槽，用于刻蝕 等薄膜材料薄，微米深孔橫向刻蝕上下層刻蝕差小于%采購標的需滿足的質量，服務，安全，時限：提供設備驗收合格后年質保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設備訂單生成后月內交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。