吋晶圓/芯片自動光學(xué)檢測 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 吋晶圓/芯片自動光學(xué)檢測 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -光學(xué)測試儀器 采購需求概況 ： ，開展芯片表面以及芯片貼裝的膜表面的顆粒沾污檢測，并嵌入至工藝流程的在線檢測步驟，實(shí)現(xiàn)存儲和邏輯芯片的界面無空洞鍵合和超高密互連。項(xiàng)目承擔(dān)單位目前無相關(guān)設(shè)備，急需該設(shè)備支撐項(xiàng)目研發(fā)。 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。