吋晶圓/芯片埃級(jí)形貌檢測(cè)顯微鏡 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 吋晶圓/芯片埃級(jí)形貌檢測(cè)顯微鏡 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -其他分析儀器 采購(gòu)需求概況 ： 三維異質(zhì)異構(gòu)集成片間互連對(duì)于介質(zhì)層的粗糙度非常敏感，同時(shí)在平坦化的過程中需要在埃量級(jí)上控制互連金屬的表面凹陷程度與粗糙程度，因此需要在晶圓/芯片的多點(diǎn)位置進(jìn)行量測(cè)，以反映晶圓或芯片內(nèi)金屬與介質(zhì)混合材料表面的關(guān)鍵形貌參數(shù)，以進(jìn)行工藝評(píng)價(jià)與后續(xù)工藝篩選，從而保證在三維異質(zhì)異構(gòu)片間集成實(shí)現(xiàn)均勻、良好的鍵合。另外，承載在膜上的芯片需要進(jìn)行表面等離子體激活，膜表面膠會(huì)帶來(lái)較多的有機(jī)物污染，為避免與新原理光刻工藝用的原子力顯微鏡有交叉污染的問題，故需要單獨(dú)購(gòu)置。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。