英寸晶圓橢偏儀 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 英寸晶圓橢偏儀 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -光學(xué)測試儀器 采購需求概況 ： 采購標(biāo)的名稱：英寸晶圓橢偏儀。采購標(biāo)的主要功能：檢測薄膜性質(zhì)。主要目標(biāo)：波長范圍-；可采集個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)；配置自動(dòng)樣品臺(tái)和微光斑（）；最快掃描時(shí)間.單點(diǎn) 晶圓尺寸 。采購數(shù)量：臺(tái) 。采購標(biāo)的所需質(zhì)量：不同材料薄膜厚度檢測精度高、片間相同材料相同厚度薄膜檢測誤差%以內(nèi)、片內(nèi)檢測速度快。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。