干法去膠機 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 干法去膠機 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：干法去膠機。采購數(shù)量為臺。采購標的主要功能：滿足英寸晶圓刻蝕后去膠，腔體數(shù)量，為刻蝕。采購標的需滿足的質(zhì)量，服務(wù)，安全，時限：提供設(shè)備驗收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設(shè)備訂單生成后月內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。